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用溅射法制备混合集成电路中的CiSiO薄膜电阻器 |
| 用溅射法制备混合集成电路中的Ci·SiO薄膜电阻器 王军峰,殷小莉,陈福山 1引言 随着对混合集成电路的质量和产量的要求日益提高,现有的制备成膜电阻器基片的传统蒸发用溅射法制备混合集成电路中的CiSiO薄膜电阻器随着对混合集成电路的质量和产量的要求日益提高,现有的制备成膜电阻器基片的传统蒸发方法工艺流程长,成膜受人为因素...为保证高质量的HIC薄膜电 |
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nitride薄膜的合成及其新颖的电学性能研究 |
| Copper nitride薄膜的合成及其新颖的电学性能研究纪爱玲 杜允 马利波 曹则贤中国科学院物理研究所,北京凝聚态物理国家实验室, 北京, 100080尽管Copper nitride薄膜的合成及其新颖的电学性能研究图2为薄膜的电阻率随Cu含量的变化曲线.随着薄膜中Cu含量的减少,电阻率慢慢增加.当Cu含量低于78.8%时,电阻率出现了突变.这表明薄膜的导电 |
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JHLY-012型全自动薄膜流延机 |
| 风华高科 片式陶瓷电容器生产线项目 ★ 专 业 制 造 JHLY-012型全自动薄膜流延机技术参数: * 流延头大轴尺寸:φ120×450mm * 流延头大轴同心度:±0.15JHLY-012型全自动薄膜流延机* 电源:380VAC 50Hz * 工作气压:0.5MPa * 外形尺寸:2400×1630×9140mm(L×W×H) 功能: 利用流延工艺,在薄膜载体 |
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反应!"磁控溅射法諩备氧化铝薄膜及E介电损耗 |
| 反应!"磁控溅射法諩备氧化铝薄膜及E介电损耗赵登涛朱炎狄国庆(苏州大学物理系薄膜材料实验室苏州#$%&&')!"#$#%&'"%()**)+,-)'./)0*,$0-"123"反应!"磁控溅射法諩备氧化铝薄膜及E介电损耗铝薄膜的諩备,已有很多方法,如:反应离子束溅 射,阳极氧化,电子束蒸发,直流磁控溅射,自然氧 化,热水或热蒸E氧化...强度为*(!LJ |
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溶胶2凝胶法制备的Y2O3薄膜的光波导性质研究X |
| 溶胶2凝胶法制备的Y2O3薄膜的光波导性质研究X郭 海1 ,2,张慰萍1 ,2,楼立人2,余申伟2,董 宁2, Mugnier J3(1.中国科学院结构分析开放研究实验室,安徽合肥23溶胶2凝胶法制备的Y2O3薄膜的光波导性质研究X体溅射,脉冲激光淀积(PLD)[ 2 ],电子束蒸发,溶 胶2凝胶法[ 1 ,3 ]等方法.而溶胶2凝胶法具有均匀性 好,组分比例容易控制,烧 |
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气相沉积(PVD)与薄膜溅镀技术基本原 |
| 物 气相沉积(PVD)与薄膜溅镀技术基本原 Thin Film DepositionChemical ProcessesPhysical ProcessesSol gelPla气相沉积(PVD)与薄膜溅镀技术基本原真空热蒸镀法(Thermal Evaporation)电子束蒸镀法(Electron Beam Evaporation) 1.蒸镀源为高熔点材 . 2. |
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电子束蒸镀法制备氧化锌透明导电薄膜之制程与特性研究 |
| 电子束蒸镀法制备氧化锌透明导电薄膜之制程与特性研究 白世南1, 嘉雅2,曾俊元3 1建国科技大学电子工程系 2逢甲大学资讯电机工程硕士在职专班 3国 交通大学电子工程学电子束蒸镀法制备氧化锌透明导电薄膜之制程与特性研究用电子束蒸镀法制备氧化锌透明导电薄膜於康 玻璃1737F基板,藉由 X光绕射仪,扫描式电子显微镜,光谱仪,及四点探针等 测,探讨 同制程 对 |
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基本薄膜材料 |
| 基本薄膜材料名称:钇(Y)三氧化二钇,(Y2O3)使用电子枪蒸镀,该材料性能随膜厚而变化,在500nm时折射率约为1.8.用作铝保护膜其极受欢迎,特别相对于800—12000nm区域高基本薄膜材料透光范围2000NM---14000NM,n=4甚至更大,937(℃)时熔化并且在电子枪中形成一种液体,然后在1400(℃)轻易蒸发.用电子枪蒸发时它的密度比整体堆积密度低,而用 |
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起始镀材对蒸镀TiO2薄膜光学特性及稳定度之比较 |
| 起始镀材对蒸镀TiO2薄膜光学特性及稳定度之比较 蔺善文1, 陈源树1,田春林2 1逢甲大学工业工程研究所 2逢甲大学电机工程研究所 摘要 TiO2及Ti3O5起始镀材对蒸镀TiO2薄膜光学特性及稳定度之比较重覆实验的方式探讨这两种镀膜材料,在电子枪蒸镀 加离子源助镀方式所制镀二氧化钛薄膜之光学特性及 物理特性,并以...电子枪蒸镀系统:电子枪的最 |
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基本薄膜材料 |
| .基本薄膜材料 黄中波 摘抄总结名称:钇(Y)三氧化二钇(Y2O3)使用电子枪蒸镀,该材料性能随膜厚而变化,在500nm时折射率在约为1 8.用作铝保护膜其极受欢迎,特别相对於8000基本薄膜材料三氧化二钇(Y2O3)使用电子枪蒸镀,该材料性能随膜厚而变化,在500nm时折射率在约为1 8.用作铝保护膜其极受欢迎...=4甚至更大,937℃时熔化并且在电子枪中形成一种液体 |